IGF-08/06: Magnetronsputtern mit hochionisierten Plasmen für optische Anwendungen (Aktenzeichen: 16570N)

by njaekel

01.09.2010 – 28.02.2013

Projektleiter:
Dr. Michael Vergöhl; Fraunhofer-IST, Braunschweig
Prof. Dr. Matthias Wuttig; RWTH Aachen – 1. Physikalisches Institut, Aachen

Um den vollständigen Schlussbericht einsehen zu können wenden Sie sich bitte an die Geschäftsstelle der EFDS

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