IGF-06/03: ProbePlas – Optimierung und Kombination von Sondentechnik zur Prozess- und Qualitätssicherung in der Plasmatechnik (Aktenzeichen: 15302 BG)

by njaekel

01.09.2007 – 28.02.2010

Projektleiter:
Dr. Volker Sittinger; Fraunhofer-IST, Braunschweig
Dr. rer. nat. Ruben Wiese; Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V. (INP), Greifswald

IGF-06/03: ProbePlas – Optimierung und Kombination von Sondentechnik zur Prozess- und Qualitätssicherung in der Plasmatechnik (Aktenzeichen: 15302 BG)

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