Workshop “Diagnostik von Prozessplasmen”

Dresden

Plasmatechnologien für die Oberflächenmodifizierung und Schichtabscheidung sind industriell etabliert und viele Produkte der Halbleitertechnik, der Automobilindustrie, der Medizintechnik etc. sind ohne technologische Plasmaprozesse heutzutage nicht mehr vorstellbar. Zur Gewährleistung der Prozesssicherheit beim Einsatz der Plasmatechnik Continue Reading