IGF-05/07: Produktionsrelevante PECVD-Verfahren mit optimierten Precursoren zur a-C:H-Abscheidung mit hoher Rate (Aktenzeichen: 15221 BG)

by njaekel

01.06.2007 – 31.12.2009

Projektleiter:
Dr. Klaus Bewilogua; Fraunhofer-IST, Braunschweig
Dr. Siegfried Peter; TU-Chemnitz, Institut für Physik, Chemnitz

EFDS